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                                                                              掃描電子顯微鏡儀器維護方法

掃描電子顯微鏡（SEM）的維護需重點關注電子光學系統、真空系統、探測器及樣品室等關鍵部件的保養。以下是具體維護方法

電子光學系統維護

1：燈絲更換?：鎢燈絲壽命約100-200小時，場發射槍燈絲壽命約1000-2000小時，需定期檢查電流穩定性并按時更換。 ?

2：電磁透鏡維護?：確保電源穩定并避免外部磁場干擾，定期檢查電流穩定性和磁場強度。 ??

真空系統維護

1.泵油檢查?：機械泵油每6個月更換，分子泵潤滑脂每年更換，日常需監測油位和泵效。 ?

2.真空度校準?：長期未用需啟動真空泵逐步提升真空度至10??~10?? Pa，并監測真空曲線變化。 ?

探測器維護

1：清潔與校準?：二次電子探測器和背散射探測器需用氮氣或軟毛刷除塵，每月通過標準樣品校準靈敏度。 ?

樣品室維護

1：日常清潔?：每次實驗后用無塵紙或酒精擦拭樣品臺、探頭及腔體內壁，禁用有機溶劑。 ?

2：深度清潔?：每月用超聲波清洗可拆卸部件，氮氣吹干后重新安裝并測試運動精度。 ?

環境控制

1：溫濕度?：實驗室溫度保持18~25℃，濕度≤60%，避免設備受潮或過熱。 ?

2：防塵防震?：設備需置于防震臺上，遠離門窗和熱源，配備HEPA濾網。 ?

長期未用呵護

每周通電初始化控制系統并觀察指示燈狀態

啟動真空泵運行8小時并監測真空曲線

重新安裝燈絲并進行老化校準 ?